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商品情報

有機・無機問わず高いエッチング効果!
Siやカーボン膜のエッチング!
その他、半導体集積回路など微細回路を作製など様々な用途に
お使い頂けます。

■表面改質
表面改質/ドライ洗浄/親水性の向上/接着効果の改善/
印刷・塗装の前処理/有機物質の除去/濡れ性の向上/細胞培養等・・・
【材料】
金属・ガラス・樹脂・紛体・チューブ等
■エッチング
・ドライエッチングの受託加工(シリコン・ガラス・金属)
■成膜
・SiO2膜・TEOS膜の製膜
■実例
・ガラスの洗浄・接着前処理
・LSIの洗浄・接着前処理
・樹脂成型品の洗浄・接着前処理
・太陽電池、燃料電池 の基板洗浄
・有機EL 、デジタルサイネージ関連ディスプレイ、液晶基板の端子洗浄
・ワイヤーボンディングの前処理
・フィルムの洗浄・接着前処理
・MEMSの洗浄等
・メッキ前洗浄
・紙への印刷前処理
・半導体プレート洗浄
・シリコンウェハーの洗浄 等・・・・


出力:MAX300W
周波数:13.56MHz
外形寸法:510(W)×850(H)×760(D)mm
重量:約85Kg 
ステージ寸法:φ100mm
電源:AC100V 50/60Hz 15A
真空ポンプ:135/160(リットル/min)
操作方法:手動

プラズマエッチャー(マニュアル) CPE-100M

  • 受注生産

価格 5,843,200円 (税込)

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