アルバック 成膜用DC電源 DC-4-D 入出力ケーブル付き ( 210007138600 ) (株)アルバック (メーカー取寄)
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商品情報
[特長]
●定格1〜100%の領域で設定値の±1%の高精度出力保証しています。
●軽量・省スペース設計です。
●プラズマを熟知した出力制御です。
●強制空冷方式のため冷却水が不要です。
●優れたARC機能と高速ARC遮断回路を搭載です。
[仕様]
●タイプ：成膜用DC電源
●入力電圧範囲(V)：200V/220（三相）
●定格出力電力(W)：4000
●最大出力(A)：10
●最大出力(W)：4000
●幅(mm)：241
●奥行(mm)：610
●高さ(mm)：133
●全長(mm)：610
●定格出力電圧(V)：800
●出力電流(A)：10
●入力端子電源入力範囲(V)：200/220
●出力電圧(V)：800
●オプションハーネス(別売)：出力ケーブル長選択可
●動作周囲温度(℃)：40以下
●RoHS、CE、KC、SEMI-F47に対応
| 商品カテゴリ | |
|---|---|
| 商品コード | 6814230 |
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