[特長]
●接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです。
●化学工業、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶剤を扱う真空引きに最適な、耐久性を増したポンプです。[用途]
●濃縮機などの化学機器。
●半導体製造装置。
●製薬機械。
●薬品処理後の乾燥。
●真空乾燥機、連結乾燥機
[仕様]
●排気速度(L/min)50/60Hz：200/240
●到達圧力(Pa)：0.67
●吸気口径(mm)：KF-25
●電源(V)：三相200
●全幅(mm)：170.0
●全長(mm)：509.5
●全高(mm)：241.1
●サーマルプロテクタ付：○
●使用油：SO−M
●電源コード長さ(m)：なし
●2段排気方式
●一台から異電圧に別作対応
●ケミカルタイプ
[注意]
●真空ポンプ油は合成油(SO-M)をご使用ください。
●特殊ガス、溶液などを吸引されるときは事前にご相談ください。
●大気圧近くでの連続運転には不適当です。
●腐食性ガスを吸引される場合のオプショナルパーツの選定は材質と耐食性をご確認ください。