これからのMEMS−LSIとの融合− / 江刺 正喜 著
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MEMS研究の世界的権威である著者が初めて解説し,大きな反響を呼んだ『はじめてのMEMS』に続く待望の続編.MEMSはシーズからニーズの時代へ.<br><br>MEMS研究の世界的権威である著者が初めて解説し,大きな反響を呼んだ『はじめてのMEMS』に続く待望の続編です.<br><br>情報処理を担う集積回路にMEMSを組み合わせるヘテロ集積化技術で,これまで以上に高機能なデバイスやセンサが可能になり,「次世代携帯機器」「センサネットワーク」「光マイクロシステム」「バイオ・医療」「製造・検査」などをはじめとするMEMSの幅広い応用が期待されています.<br><br>本書では,そうした応用やニーズ面,開発の実際などをおもに取り上げ,具体的に解説しています.<br><br>これからMEMS技術を取り入れたいと考える技術者・研究者が,MEMSの概要や現状を学ぶのに最適な1冊です.<br>江刺 正喜 著
森北出版
2016年06月
コレカラ ノ エムイ−エムエス エルエスアイ トノ ユウゴウ MEMS LSI
エサシ マサヨシ
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